目的是在不影響質(zhì)量和安全的前提下改善流程效率。本文向您介紹原本用于半導體行業(yè)的干式真空泵真空箱技術(shù)，因其操作中的清潔和高效而開(kāi)始向工業(yè)和實(shí)驗室真空流程轉移。

中山海泰真空泵真空箱以清潔無(wú)污染，而且擁有較寬的抽速范圍以及良好的節能、穩定、易維護等優(yōu)勢廣泛應用于半導體行業(yè)，今天張工來(lái)給大家普及一下真空泵真空箱在半導體生業(yè)使用中不可忽視的安全問(wèn)題。

半導體工藝真空主要用在蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕， 真空吸附，測試設備，真空清掃等等鍵合工序，半導體生產(chǎn)制造過(guò)程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有毒的物質(zhì)氣體，會(huì )對生產(chǎn)及人員安全造成威脅，因此，半導體真空泵真空箱應用時(shí)需要注意的幾個(gè)安全事項：

1、定期清洗真空泵真空箱及其他附件、過(guò)濾、管道，避免超壓：

半導體真空泵真空箱應用時(shí)，抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應室與真空泵真空箱，其成分可能極為復雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會(huì )形成HCl;假設是油封式機械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵真空箱或管路系統，影響真空泵真空箱性能，造成壓力上升或超壓，第一點(diǎn)中提到的危險性也更大。所以需要及時(shí)的清洗，并在必要的時(shí)候設置過(guò)濾設備;

2、有效稀釋有害氣體的濃度：

半導體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵真空箱應用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們在真空泵真空箱內或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì )引起燃燒甚至爆炸;氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時(shí)也會(huì )發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導體真空泵真空箱在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮氣之類(lèi)的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時(shí)條件下的安全范圍;

3、注意氧氣的濃度：

空氣中的氧如果濃度過(guò)高也會(huì )發(fā)生燃燒及爆炸風(fēng)險。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來(lái)稀釋?zhuān)乐節舛冗^(guò)高;假設是油封機械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵真空箱油，并及時(shí)更換油濾和油品：

4、防止溫度過(guò)高：

比較容易理解這點(diǎn)，半導體在真空泵真空箱的應用中，有害氣體比較多，而無(wú)論是干式真空泵真空箱還是油封機械泵，泵腔內溫度過(guò)高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會(huì )容易發(fā)生危險;

以上幾個(gè)方面就是半導體真空泵真空箱應用中最主要的幾個(gè)安全事項，一定不可忽視，張工說(shuō)小問(wèn)題對運轉、產(chǎn)量、效率和安全都有聯(lián)系，我們應該延長(cháng)真空泵真空箱的使用壽命，努力協(xié)調平衡，保證效率與安全。        http://m.danielscarsella.com/