真空系統。是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門(mén)、境外過(guò)濾總成等組成的成套真空系統。目前，該系統廣泛應用于電子半導體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。

    該真空系統出廠(chǎng)時(shí)已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過(guò)濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需要在現場(chǎng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接電源和管道,即可以組成一個(gè)完整的真空系統。該真空系統的控制系統由先進(jìn)的PLC控制系統經(jīng)過(guò)編程后組成,為人機界面,實(shí)現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動(dòng)化控制。

    真空系統自啟動(dòng)后，全部運行過(guò)程可以實(shí)現全自動(dòng)控制。在工作中，真空系統內各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內上下波動(dòng)，其波動(dòng)范圍可根據用戶(hù)要求進(jìn)行調整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環(huán)真空泵真空系統能達到                                                 

流程工藝
    xx臺真空泵啟動(dòng)后達不到設定所需真空時(shí)第二臺真空泵啟動(dòng)至達到設定的真空值。當達到所需設定值后***臺真空泵停止接著(zhù)第二臺真空泵停止循環(huán)工作。我司的真空系統可在無(wú)人操作情況下對系統進(jìn)行自動(dòng)控制，在停電時(shí)可自動(dòng)封閉真空系統。同時(shí)控制箱可以保護真空泵馬達過(guò)載及短路。

 工作原理
    啟動(dòng)系統，主真空泵組開(kāi)始工作，直到真空罐內真空度達到設定的上限值，真空泵自動(dòng)停止運行，中央真空系統內的真空由管路上的真空止回閥自動(dòng)截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降并低于設定的下限值時(shí)，備用真空泵組自動(dòng)啟動(dòng)。由此循環(huán)往復，真空系統的真空度能夠維持穩定的真空源，滿(mǎn)足生產(chǎn)的要求。

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